光刻膠樹脂中試基地開工,國產高端材料突圍戰(zhàn)再添生力軍!
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12月25日,尚賽集團千噸級光刻膠樹脂材料及新型光電材料中試基地在黃岡化工產業(yè)園正式開工。項目計劃總投資5億元,將建設有機小分子精細化工工藝優(yōu)化與量產銜接平臺、超高純化學品純化工藝優(yōu)化與量產銜接平臺、高性能樹脂聚合工藝優(yōu)化與量產銜接平臺、有機光電功能材料配方優(yōu)化與量產銜接平臺、中試質控及診斷服務平臺等五大平臺。
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國產光刻膠樹脂的現狀與瓶頸
光刻膠樹脂是光刻膠的核心組成部分,成本占比超過50%,在高端光刻膠中甚至高達九成以上。它的質量直接決定光刻膠的性能,影響芯片制造的精度與良率。目前全球高端半導體光刻膠市場被日本和美國公司壟斷,日本企業(yè)全球市占率約80%。我國光刻膠行業(yè)起步較晚,生產能力主要集中在中低端光刻膠領域,高端光刻膠自給率較低。
高端光刻膠樹脂的合成技術復雜,壁壘高企。行業(yè)數據顯示,1噸KrF光刻膠單體僅能合成0.8-0.9噸KrF樹脂,而1噸ArF光刻膠單體只能合成0.5-0.6噸ArF樹脂。這種低合成率大幅推高了生產成本,成為制約國產高端光刻膠發(fā)展的關鍵因素之一。
產業(yè)鏈協同突破的新模式
面對技術瓶頸,國內產業(yè)鏈探索出多種協同創(chuàng)新模式。包括"企業(yè)-晶圓廠"協同創(chuàng)新、區(qū)域產業(yè)集群效應、"企業(yè)-設備商"協同創(chuàng)新、"企業(yè)-科研機構"產學研合作等。
“企業(yè)-晶圓廠”協同成為縮短驗證周期的有效路徑。艾森股份與中芯國際在28nm鍍銅添加劑領域建立聯合驗證機制,將導入周期從傳統(tǒng)的2年縮短至6個月。南大光電與長江存儲則構建“材料-工藝”協同優(yōu)化機制,使ArF光刻膠通過驗證并獲百噸級訂單,成本較進口產品低15%。
區(qū)域產業(yè)集群效應也開始顯現。潛江微電子材料產業(yè)園整合江漢鹽化工副產品作為原料,降低園區(qū)內企業(yè)生產成本20%以上,將材料驗證周期縮短至45天。這種“原料-樹脂-光刻膠-配套試劑”的完整產業(yè)鏈模式,為其他產業(yè)園包括黃岡項目中試基地的建設提供了可借鑒的經驗。
技術突破與國產替代進展
2025年以來,國產光刻膠樹脂領域取得了一系列實質性突破。八億時空建成了國內首條百噸級KrF光刻膠樹脂量產線,性能達國際先進水平。興福電子實現高端光引發(fā)劑國產化,送樣指標與進口品一致,直接降低下游企業(yè)成本30%。鼎龍股份則掌握了從單體、光致產酸劑、樹脂等原材料到材料純化的全鏈條自供能力。
在工藝創(chuàng)新方面,北京大學團隊利用冷凍電子斷層掃描技術解析光刻膠分子在顯影液中的微觀三維結構,使缺陷率大幅降低99%。這一技術已應用于中芯國際7nm產線,缺陷密度降至0.03個/cm²,良率提升至99.7%。
新型光電材料的融合創(chuàng)新
隨著智能時代到來,光電子材料成為各國競相布局的戰(zhàn)略高地。2023年中國光電子器件產量達14380.5億只,行業(yè)進入高速發(fā)展期。智能光/電/熱材料通過動態(tài)響應與精準調控能力,成為突破能效瓶頸的核心引擎。這類材料能夠自發(fā)感知環(huán)境,實現從微觀到宏觀的跨尺度響應,在光、熱、電傳導之間實現跨時域調控。
黃岡項目中試基地重點布局的有機光電功能材料,正是未來智能光電體系的關鍵組成部分。這類材料在光通信、激光雷達、光電探測器等領域應用廣泛,新型材料如GaAs、GaN及PZT薄膜的研發(fā)推動器件向高頻、高效方向發(fā)展。
政策資本雙輪驅動產業(yè)升級
國家集成電路產業(yè)投資基金三期計劃投入超500億元支持光刻膠研發(fā)及產業(yè)化,重點扶持EUV光刻膠材料和高端樹脂。這為尚賽等企業(yè)提供了良好的政策環(huán)境。
地方政策也在持續(xù)加碼。上海按采購額10%補貼國產光刻膠,單廠年補5000萬元;武漢、潛江等地提供稅收減免和土地優(yōu)惠,推動“武漢研發(fā)-潛江制造”模式。我國首個《極紫外(EUV)光刻膠測試方法》國家標準立項,構建全鏈條標準體系支撐產業(yè)化落地。
未來發(fā)展趨勢
尚賽黃岡項目中試基地重點建設的五大平臺,正是針對產業(yè)發(fā)展的關鍵痛點。中試平臺作為實驗室成果與產業(yè)化之間的橋梁,將成為破解“死亡谷”難題的重要嘗試。
黃岡項目中試基地的開工建設,標志著中國高端光刻膠樹脂材料正從單點突破邁向體系化創(chuàng)新。隨著更多企業(yè)加入這一賽道,中國有望在2030年前在成熟制程光刻膠領域實現全面自主,在先進封裝等前沿方向建立局部領先優(yōu)勢。

